产品概述
凭借其可配置的大容量腔室,手动加载的EcoCoat硅烷气相沉积系统旨在满足您的工艺开发和批量生产要求。 三条独立的蒸汽输送管线,出色的热均匀性和原位气体等离子体为系统提供了工艺灵活性,同时为晶圆,载玻片或热塑性表面保持了优异的硅烷单层沉积均匀性。
•表面改性以促进/防止粘附
•用于NIL,MEMS,AR/VR的防粘膜
•生物分子与玻璃,塑料或硅的共价键合
•等离子清洁和活化表面,控制疏水性
灵活的化学蒸汽输送系统可与多种有机硅烷兼容。 可以使用小型测试瓶或大型安瓿瓶,从而实现从研究到低成本的大批量生产的过渡。 三个独立的蒸汽输送管线可容纳多种前体或水,以实现表面水合,从而实现的硅烷与底物的结合。 集成的等离子体功能通过三个独立的MFC控制的过程气体输入来实现。 灵活的腔室搁板/电极允许从晶片(200/300 mm)到载玻片和3D热塑设备使用各种各样的基板形状因子。
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