产品概述
1、结构：
* NPP-H（具有α晶的天然聚丙烯）的耐腐蚀结构）为整个系统提供更好的刚性和韧性
*高品质无缝制造表面，全工程塑料
*适用于通风柜和杂物箱
*处理室直径：202毫米

2、数字电机控制：
*具有数字增量速度信号的数字实时闭环控制伺服电机反馈

3、透明盖：
淬火的透明玻璃瓶盖，带有注射器支架和N2扩散器，可在处理过程中进行N2吹扫

4、安全联锁：
*Process Chambe Lid始终为所有用户安全锁定，并且仅在单击盖子打开显示图标时才能打开
*电磁盖联锁在打开时停止旋转，而真空联锁（可编程）在没有足够真空或没有真空的情况下停止旋转
*防止伤害使用者并避免基材破裂

5、连接：
*三个可编程继电器输出，可用于操作自动分配系统，外部阀或其他附件。
*多种夹头可供选择，用于直径为160 mm的不同尺寸的基板
*制氮过程中的氮气扩散器