使用崭新的技术，提供高速度与精确度，建立出可靠以及可信赖的测量系统。
该系统包括InSpec测量软件，可程序化的光学变焦，3X的数码变焦，非线性平台补偿，非线性光学补偿，的LED光源系统以及温度检测仪。
InSpec测量软件功能强大：使用鼠标就能轻松编写程序，专有的系统寻边功能，的光源控制及校正功能，与复合传感器结合，自动更正，可清晰显示测量数据及公差。
技术参数

	Excel 501 HM/HC	Excel 502 HM/HC	Excel 501 UM/UC	Excel 502 UM/UC
量测行程(mm)	400x500x160	400x500x250	400x500x160	400x500x250
承载重量	100kg
XY轴精度(μm)	2.8+L/200	3.1+L/200	2.5+L/200	2.8+L/200
Z轴精度(μm)	2.8+L/100	3.3+L/100	2.5+L/100	3.0+L/100
分辨率	0.4μm		0.1μm
基本倍率	1X(LWD)/2X(SWD)
光学变焦	6.5x		12x
数位变焦	3x
综合倍率	20x-370x/40x-740x		15x-540x/30x-1080x