该系统包括InSpec测量软件,可程序化的光学变焦,3X的数码变焦,非线性平台补偿,非线性光学补偿,的LED光源系统以及温度检测仪。
InSpec测量软件功能强大:使用鼠标就能轻松编写程序,专有的系统寻边功能,的光源控制及校正功能,与复合传感器结合,自动更正,可清晰显示测量数据及公差。技术参数
Vertex 251HM/HC | Vertex 251 UM/UC | Vertex 311 HM/HC | Vertex 311UM/UC | |
量测行程(mm) | 250x160x160 | 315x315x160 | ||
承载重量 | 10kg | |||
XY轴精度(μm) | 2.0+L/200 | 1.8+L/200 | 2.5+L/200 | 2.0+L/200 |
Z轴精度(μm) | 2.0+L/150 | 2.0+L/150 | 2.0+L/150 | 2.0+L/150 |
分辨率 | 0.1μm | |||
基本倍率 | 1X(LWD)/2X(SWD) | |||
光学变焦 | 6.5x | 12x | 6.5x | 12x |
数位变焦 | 3x | |||
综合倍率 | 20~390x/15~540x |
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