RUQF200系列双轴是目前国气浮直线台，我司通过多年的行业经验，搭配国际上的控制系统，制造出性价比高的气浮运动台，广泛应用于加工，测试测量，扫描，半导体及光子学等行业。
非接触式结构
RUQFL200系列双轴气浮直线台采用非接触式气浮轴承、直线电机驱动和光栅尺闭环反馈组成，确保了在使用时免维护运行，因为运动元件间没有机械接触，随着时间的推移，不会出现磨损或性能下降，使用寿命几乎是无限的，气浮轴承不需要润滑，只需要清洁及干燥的气体，是用户应用的理想选择。
高精度指标气浮导轨基于气体动静压效应，实现无摩擦和无振动的平滑移动，与摩擦式导轨相比，气浮直线台的直线度、平面度，Pitch/Roll/Yaw指标得到了很大的提高，同时由于非接触式，伺服反馈的跟随误差有了质的飞跃，定位精度和重复精度得到了显著提高。
线缆管理
精心优化管线弯曲半径，防止动作过程中线缆的拉伸影响到气浮台的性能，使用高质量的线缆，以确保操作。
定制化
可定制大理石或碳化硅材质的气浮导轨，提升精度性能，行程也可接受定制。
| 产品型号 | 单位 | RUQFL200-200xy | RUQFL200-300xy | RUQFL200-400xy | |||||
| 运动轴 | 轴系 | x | y | x | y | x | y | ||
| 行程 | mm | 200 | 200 | 300 | 300 | 400 | 400 | ||
| 定位精度 | Plus值 | ｕm | ±0.3 | ±0.35 | |||||
| 标准值 | ±0.5 | ±0.6 | |||||||
| 双重复定位精度 | Plus值 | ｕm | ±0.05 | ±0.15 | |||||
| 标准值 | ±0.2 | ±0.3 | |||||||
| 直线度 | Plus值 | ｕm | ±0.5 | ±0.75 | |||||
| 标准值 | ±0.75 | ±1 | ±1.5 | ||||||
| 平面度 | Plus值 | ｕm | ±0.5 | ±0.75 | |||||
| 标准值 | ±1 | ±1.5 | ±2 | ||||||
| Ritch/roll | Plus值 | Acrsec | ±1 | ±2 | ±3 | ||||
| 标准值 | ±1.5 | ±3 | ±4 | ||||||
| Yaw | Plus值 | Acrsec | ±0.75 | ±1 | ±1.5 | ||||
| 标准值 | ±1 | ±1.5 | ±2 | ||||||
| 电子分辨率 | Nm | 0.3或5（选配） | |||||||
| 加速度 | m/s | 1 | |||||||
| 速度 | Mm/s | 200 | |||||||
| 负载 | Kg | 20 | |||||||
| 气体压力 | Mpa | 0.5±0.05 | |||||||
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