产品特点:
1.闭式气浮轴承结构
2.高轴向和径向刚度
3.低噪音结构设计
4.直驱零齿槽效应
5.跳动误差200nm
6.高速度稳定性
RUQFR-N系列是高性价比的气浮转台,高定位精度、高速度稳定性和200nm跳动误差,有效载荷能力和出色的径向和轴向刚度产品满足晶圆检测、生物检测、高精度计量、光学检测和制造以及MEMS/纳米技术设备制造等行业。
对RUQFR-N系列气浮转台进行了优化设计,大型空气轴承表面和创新的预压高刚度,承载能力大,可侧向放置使用。较低的轴向和径向误差运动,突出的倾角误差运动,以及由此产生的性能明显优于其它旋转空气轴承表和主轴,大大有利于要求特殊平面性能的应用。
RUQFR-N系列采用无刷直驱电机驱动,电机的磁路设计,产生高转矩输出和低热量产生,零齿槽效应和无扭矩纹波,使得气浮转台在低速或高速时平滑转动。
气浮转台圆光栅闭环反馈,运用国际上的驱动控制器,分辨率达0.01角秒,重复定位精度≤1arc sec。
圆光栅尺可选增量式或Absolute encoder。
气浮转台可定制滑环或气路接头,满足高速度稳定性或高精度惯性导航测试的应用。
由于气浮转台径向刚度大,可定制成AC轴,满足曲面微加工或测试的应用。
1.闭式气浮轴承结构
2.高轴向和径向刚度
3.低噪音结构设计
4.直驱零齿槽效应
5.跳动误差200nm
6.高速度稳定性
RUQFR-N系列是高性价比的气浮转台,高定位精度、高速度稳定性和200nm跳动误差,有效载荷能力和出色的径向和轴向刚度产品满足晶圆检测、生物检测、高精度计量、光学检测和制造以及MEMS/纳米技术设备制造等行业。
对RUQFR-N系列气浮转台进行了优化设计,大型空气轴承表面和创新的预压高刚度,承载能力大,可侧向放置使用。较低的轴向和径向误差运动,突出的倾角误差运动,以及由此产生的性能明显优于其它旋转空气轴承表和主轴,大大有利于要求特殊平面性能的应用。
RUQFR-N系列采用无刷直驱电机驱动,电机的磁路设计,产生高转矩输出和低热量产生,零齿槽效应和无扭矩纹波,使得气浮转台在低速或高速时平滑转动。
气浮转台圆光栅闭环反馈,运用国际上的驱动控制器,分辨率达0.01角秒,重复定位精度≤1arc sec。
圆光栅尺可选增量式或Absolute encoder。
气浮转台可定制滑环或气路接头,满足高速度稳定性或高精度惯性导航测试的应用。
由于气浮转台径向刚度大,可定制成AC轴,满足曲面微加工或测试的应用。
型号 | RUQFR-N150 | RUQFR-N200 | RUQFR-N300 | ||
行程 | 360° | ||||
台面直径 | φ70 mm | φ140 mm | φ240 mm | ||
驱动方式 | 直驱力矩电机 | ||||
定位精度 | ±2 arc sec | ||||
双向重复精度 | < 1 arc sec | ||||
同步轴向跳动 | 200 nm | ||||
同步径向跳动 | 200 nm | ||||
电子分辨率 | 0.01 arc sec | ||||
速度 (空载) | 300 rpm | ||||
轴向负载 | 20 Kg | 40 Kg | 70 Kg |
型号 | A | B | C | D | E | F | G |
RUQFR-N150 | 180 | 150 | 110 | 120 | φ70 | φ30 | φ55 |
RUQFR-N200 | 231 | 200 | 110 | 165 | φ115 | φ50 | φ90 |
RUQFR-N300 | 295 | 300 | 110 | 225 | φ240 | φ90 | φ19 |
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