ANT95XY双轴XY纳米定位级
我们的第二代超紧凑型ANT95XY载物台采用集成的双轴设计，可提供的平面性能和出色的几何特性。ANT95XY载物台配备高刚度交叉滚子轴承、高分辨率位置反馈和无铁芯直线电机，可实现同类产品中最平稳、确的运动，可通过超高精度2D校准进一步增强，以优化您的高精度检测或制造工艺。

设计特点
增强的第二代设计
实现最小增量运动至 0.5 nm - 新
通过集成的 XY 设计优化正交性、直线度和平整度
通过 ULTRA 校准选件保证 ±250 nm 或更高的二维精度
采用高精度交叉滚子轴承，具有出色的动态性能和慷慨的负载能力
通过无铁芯直驱直线电机限度地提高过程吞吐量和可靠性
主要应用
ANT95XY非常适合需要高精度和动态定位性能的多轴应用，包括：

光子学组装和检查
光纤对准和优化
光学制造、测试和检验
传感器测试和认证
半导体加工和检测
研究和实验室应用

超精密载物台设计
ANT95XY的集成双轴设计允许您优化关键几何元素，如正交性，直线度和平整度，从而产生具有出色运动特性的载物台。我们的直接驱动技术没有滞后或间隙，可在 X 和 Y 尺寸上实现精确且可重复的纳米级运动。两种行程选项（25 mm x 25 mm 和 50 mm x 50 mm）均配备 60 mm 型材高度。集成电缆管理系统专为长寿命和最小的阻力而设计。

非接触式直接驱动
只有非接触式直接驱动技术才能提供大规模生产精密设备所需的坚固、准确和高速定位。ANT95XY载物台利用我们的直驱技术来实现的定位性能。这种直接驱动技术可提供超平稳、一致的运动，并具有出色的动态特性，以优化您的过程吞吐量。的驱动和轴承组合采用极其紧凑的外形尺寸封装，在许多应用中提供了切实的优势，例如高精度定位、光纤对准、光学制造和检测、传感器测试和扫描过程，这些都需要平稳和精确的运动。

灵活的系统设计
ANT95XY系列具有通用安装和桌面模式，可轻松进行系统集成。ANT95XY载物台可轻松与其他产品（包括ANT95LZ、ANT95LZS、ANT95R、ANT95V、ANT20G等）结合使用，以实现复杂、多自由度的运动和定位解决方案。

超高性能等级选项
为了从我们的多轴纳米定位系统获得的系统精度，我们开发了一种的动态轨迹校准系统。为了利用这种复杂的校准系统，机械系统在我们的计量实验室中进行了组装、功能测试和校准。纳米级系统精度只能在严格的环境条件下实现，这些条件确保使用测试设备进行校准，使用我们行业的控制器的精度机械元件和ULTRA软件功能。通过使用ANT95XY实现ULTRA动态轨迹校准，我们能够产生±250 nm或更好的保证二维精度。

规格中提供的曲线说明了标准 ANT95XY 与 ULTRA 版本之间的性能差异。ULTRA 校准几乎消除了偏航引起的直线度、正交性和精度误差。