ANT95LZ单轴Z纳米定位平台

我们的第二代ANT95LZ位移台经过专门设计，可在垂直方向上提供纳米级的运动和定位性能。用户可调节的超低摩擦气动平衡块使它们在结合分辨率、精确度、可重复性、尺寸和可靠性方面成为同类。它们令人印象深刻的动态能力和增强的承载能力使ANT95LZ位移台成为您需要垂直运动时的选择。
设计特点
•增强型第二代设计
•实现1 nm的最小增量运动-新的
•在长达50毫米的行程范围内提供纳米级定位性能
•通过用户可调节的超低摩擦平衡力，可在垂直方向上抵消高达5千克的有效载荷，实现精确的性能
•采用高精度交叉滚子轴承，具有出色的动态性能和巨大的负载能力
•利用无铁芯直接驱动直线电机限度地提高生产能力和可靠性

关键应用
ANT95LZ非常适合要求高精度和动态定位性能的多轴应用，包括:
•光子组装和检测
•光纤对齐和优化
•光学制造、测试和检验
•传感器测试和认证
•半导体加工与检验
•研究和实验室应用
行业的运动性能
出色的精度、位置可重复性和在位稳定性要求的系统分辨率。ANT95LZ现在提供改进的高性能编码器选项，可以轻松实现1 nm的最小位移增量。我们的直接驱动技术没有滞后或反冲，能够实现精确和可重复的纳米级运动。此外，影响最小的配重设计可抵抗有效负载产生的重力，从而实现行业的性能和的热稳定性。

非接触式直接驱动
只有非接触式直接驱动技术能够提供大规模生产精密设备所需的稳健、精确和高速定位。ANT95LZ位移台使用我们的直接驱动技术来实现的定位性能。这种直接驱动技术提供了超平滑、一致的运动和出色的动态特性，以优化您的加工处理量。的驱动器和轴承组合封装在极其紧凑的外形中，在许多应用中提供了切实的优势，例如高精度定位、光纤对准、光学制造和检测、传感器测试和扫描过程，这些应用需要平稳和精确的运动。
灵活的系统设计
ANT95LZ系列具有通用安装和台面安装孔，便于系统集成。两个、三个或更多轴可以很容易地结合起来，以实现灵活的系统设计和多轴配置。ANT95LZ平台还提供更低的双平衡结构，可与其他产品(包括ANT95L、ANT95XY、ANT95R、ANT95V、ANT20G等)轻松结合，以实现复杂的多自由度运动和定位解决方案。