ANT95R系列单轴旋转直驱纳米定位平台
ANT95R直驱旋转平台提供的位置稳定性和0.01弧秒以下的增量运动性能,并提供两种精度等级。紧凑的尺寸便于与其他运动轴和系统集成。
设计特点
• 0.01弧秒分辨率
• 0.005弧秒在位稳定性
• 出色的跳动指标
• 多轴配置
• 高动态性能
• 有限和无限旋转
多轴功能
ANT95R系列旨在与Aerotech的ANT直线位移台产品兼容并易于集成。这些平台为几乎所有纳米制造或检测应用提供了精确性、稳定性和小尺寸性能。
动态特性
除了高精度水平,这些系统还提供高动态性能,非常适合需要速度和精度的需求。
持久性
ANT95R载物台系列设计用于全天候制造环境。与其他旋转设备不同,ANT95-R无需定期维护,确保多年运行。
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