ANT130LZ 单轴 Z 纳米定位级
我们的第二代ANT130LZ载物台经过专门设计,可在垂直方向上提供纳米级运动和定位性能。凭借用户可调节的超低摩擦气动平衡器,它们在精度、可重复性、速度和可靠性方面是同类的。ANT130LZ载物台具有令人印象深刻的动态能力和充足的承载能力,是工艺需要垂直运动的选择。
设计特点
增强的第二代设计
实现最小增量运动至 1 nm - 新
在长达 60 mm 的行程长度内提供纳米级定位性能
抵消高达 10 kg 的有效负载,通过用户可调节的超低摩擦平衡器在垂直方向上实现精确性能
采用高精度交叉滚子轴承,具有出色的动态性能和充足的负载能力
优化过程吞吐量,并通过无铁芯直驱直线电机限度地提高可靠性
主要应用
ANT130LZ载物台是高精度和高动态垂直定位应用的理想选择,包括:
光子学组装和检查
光纤对准和优化
光学制造、测试和检验
传感器测试和认证
半导体加工和检测
研究和实验室应用
行业的运动性能
出色的精度、位置可重复性和就位稳定性需要极精细的系统分辨率。ANT130LZ 现在提供改进的高性能编码器选件,可轻松实现 1 nm 的最小增量步长。我们的直接驱动技术没有迟滞或齿隙,可实现准确且可重复的纳米级运动。此外,影响最小的平衡设计可对抗有效载荷引起的重力,从而实现行业的性能和的热稳定性。
非接触式直接驱动
只有非接触式直接驱动技术才能提供大规模生产精密设备所需的坚固、准确和高速定位。ANT130LZ载物台使用我们的直驱技术,以实现的定位性能。ANT130LZ 与抗蠕变交叉滚子轴承相结合,可提供超平稳、一致的运动和出色的动态特性,从而增强您的加工能力。优化的驱动和轴承组合采用紧凑的外形尺寸封装,在许多应用中具有明显的性能优势,例如高精度定位、光纤对准、光学制造和检测、传感器测试和扫描过程,这些都需要平稳和精确的运动。
灵活的系统设计
ANT130LZ 系列具有通用安装和桌面模式,便于系统集成。两个、三个或更多轴可以轻松组合,以实现灵活的系统设计和多轴配置。ANT130LZ 载物台还提供薄型型号,可轻松与其他产品(包括 ANT130L、ANT130XY、ANT130R、ANT130V、ANT20G 等)结合使用,以提供复杂、多自由度的运动和定位解决方案。
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