ATS150 机械轴承，丝杠驱动线性平台

ATS150 系列滚珠丝杠驱动的线性载物台提供半导体晶圆测试和制造、自动显微镜检测系统和精密微加工应用所需的高分辨率和可重复性，并可选择配置直接线性编码器以提高精度。

设计特点
长寿命直线运动导轨轴承系统
超精细分辨率
整体式波纹管路盖
薄型紧凑型设计
亚微米级精度
可选高精度线性编码器

结构特点
ATS150 系列载物台由特殊的铸造铝合金加工而成，具有高强度重量比和长期稳定性。底座采用箱形设计，可提供出色的刚度和稳定性。

ATS150 系列载物台采用预加载的精密研磨滚珠丝杠以消除齿隙，其螺母具有雨刮器，可防止污染并在载物台的整个使用寿命期间保持高精度。高品质、预加载的双联轴承用于消除轴向游隙。

所有 ATS150 系列载物台均采用直线运动导轨 （LMG） 轴承，以提供高负载能力和高刚度。LMG 设计提供了一个紧凑的载物台，在整个行程中具有连续的滑块支撑和良好的悬臂负载能力。轴承卡车上的整体雨刷器有助于确保载物台行驶寿命。高精度光学限位开关和终端停止也是标准配置。

整体式波纹管式路盖可保护驱动和轴承系统免受污染。金属表面采用有吸引力的透明阳极氧化表面保护。公制（标准）和英制安装和螺栓孔模式均可用。

线性编码器
精密非接触式线性编码器是一种选择。编码器安装在载物台内部，可保护其免受外部污染物和碎屑的侵害。

电机和驱动器
所有 ATS150 系列载物台均包含 Aerotech 的 BMS 系列无刷旋转电机。该电机具有无刷电机的所有优点 - 高加速度，无刷磨损和更低的加热 - 但齿槽零，可实现极其平稳的运动和准确性。Aerotech制造各种匹配的驱动器和控制装置，以提供集成和优化的运动解决方案。