产品型号 | GSL-1100X-SPC-12等离子薄膜溅射仪 |
主要特点 | 1、可以调节电流大小,可设置溅射时间。 2、已经过CE认证。 |
技术参数 | 1、输入电源:208V-240V 50Hz/60Hz 2、样品台:Φ60mm,高度可调节 3、石英腔体:Φ100mm×130mm 4、进气口:内部装有阀门,可以向腔体内通入各种气体 5、靶材:纯度为4N的金靶,Φ57mm×0.12mm
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产品规格 | 尺寸:480mm×320mm×150mm;重量:20kg |
可选配件 | 1、Au(Φ57mm×0.12mm,4N) 2、Pt(Φ57mm×0.12mm,4N) 3、Ag(Φ57mm×0.5mm,4N) |
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