一、匀胶机简介：

钙钛矿太阳能电池/有机太阳电池制备涂膜工艺行业内Laurell匀胶机Spin Coater，从1985年开始，30多年者，用户超百万！广发应用于钙钛矿太阳能电池薄膜制备，现当前的型号WS-650-23B匀胶机，在任何一个的实验室可找到！洛桑联邦理工学院（EPFL）Michael Grätzel教授课题组使用的就是Laurell匀胶机WS-650-23B。

应用领域：

钙钛矿太阳能电池Perovskite solar cells

有机光伏OPV

有机发光二极管OLED

有机场效应晶体管&薄膜晶体管OFET & TFT

石墨烯&二维材料Graphene &2D

衬底Substrates

材料Materials

二、匀胶机产品特点:

1、稳定的转速和快速的启动，可保证胶厚度的一致性和均匀性；

2、转速在12000转/分范围内非常稳定，美国国家标准技术研究院（NIST）认证过；

3、采用PLC控制，速度无极调节，在启动之后一般工艺先以低速运转使胶摊开，然后自动变到高速运转，步骤转速及相应的时间分别可调；

4、数据模拟：匀胶实验时将一组设定的涂胶速度和时长数值输入系统，系统会据此计算出的速度设定方案，带有速度随时间变化的曲线；

5、数据记录：为了提高实验的可重复性，设备会在数据记录模式下，实时记录下前一次工艺过程的实验实际值，并将该组数据存储并重复调用，达到近乎*一致的可重复性；

6、NPP材质耐腐蚀及抗震；

三、匀胶机技术参数：

1、腔体尺寸：9.5英寸 (241 毫米)；

2、Wafer芯片尺寸：10-150mm直径的材料，方片125x125mm；

3、转动速度：0-12,000rpm；

4、旋涂加速度：0-12000rpm/sec（空载）；

5、马达旋涂转速：稳定性能误差<±1%；

6、转速调节精度 lt;0.2rpm，重复性< 0.2rpm；

7、工艺时间设定：1-5999.9 sec/step 0.1精度；

8、匀胶机材质：NPP天然聚丙烯材质，抗腐蚀性和抗化学物性，美观大方；

9、高精度数码控制器：PLC控制，设置点精度小于0.006%；

10、程序控制：可存储20个程序段，每个程序段可以设置51步不同的速度状态；

11、分辨率：分辨率小于0.5转/分，可重复性小于±0.5转/分，美国国家标准技术研究院（NIST）认证过的，并且无需再校准！

12、配套真空泵系统：无油型 220~240伏交流，50/60赫兹；

13、配套分析软件：SPIN3000操作分析软件；

14、水平测试仪；

可选配置：

IND构造为湿站系统设计，带远程控制；

OND构造为手套箱系统设计，带远程控制；

UD自动滴胶装置；

UD-3带倒吸装置的多喷嘴可编程针筒；

EBR晶圆去边，机械装置；

迈可诺技术有限公司

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