概括：

涂布系统主要包括供料单元和涂布单元，涂布单元是通过利用精密机械加工所制作的上下模及安装在上下模间的薄垫片所组成，供料单元由储料、输送的注射泵及过滤装置等组成。系统由涂布模具相对于基片作精确运动,通过控制速率、精密计量和泵送工艺流体，将液体化学材料从上下模之间的缝隙挤出涂布于移动的基板(玻璃、不锈钢和塑料等)。上形 成薄膜。涂膜厚度可由液体流量与基板移.动速度直接计算，其优点为涂膜均匀性高、可适用的涂料粘度范围广、涂布速度快、以及可制作大面积的涂膜。适用于有机太阳能电池0PV和钙钛矿太阳能电池PVK等基材的涂布，非连续基材如LCD玻璃基板光阻涂布，也应用于光学膜(增亮膜、hardcoat、 偏光膜、扩散膜等)、OLED 涂布等。多种规格尺寸可选可定制，多种人性化配置可选:加热台、特殊气体吹淋系统、多尺寸刀头，多规格垫片等,满足客户多种需求,为客户量身定制高精密专业设备。

产品简介

● 设备整体采用两级调整确保大面积平台水平度，涂布平台有单独的调平机构，平台是否平整作为工艺门槛的步相当于地基。

● 涂布刀头采用专用合金，特殊表面热处理的进口大尺寸刀头(自有设计技术)，防有机溶剂，防形变。

● Z轴采用伺服电机配合编码器加光栅尺双闭环，确保刀头的位置精度，和刀头的水平度。

● 集成化注射泵，可联动控制溶液流速，自动进液，自动除气，自动管路:清洗(需要配备清洗液，刀头需拆卸清洗)。

● 涂布平台运行机构采用直线伺服电机提高平台稳定性，将工艺中影响的因素减到。

● 废液回收系统，可配合管路清洗进行废液回收，方便废液处理。

● 涂布平台带有多区域真空吸附功能，基底定位功能，方便基底定位以及涂布过程的固定

●多段式涂布工艺，更好的保证基底首尾膜厚的控制。

技术优势特点

1.定制化槽模

● 浆料.上料供应稳定，在模头内部形成均匀稳定的流动状态。

● 模具内部流道几何尺寸确保涂膜在宽度方向厚度均匀性。

● 模唇形状确保涂布液珠稳定性。

2.高宽容度供液系统

● 支持1-2000cps粘度涂液，供液过程保持浆料性质稳定，不发生沉降，粘度、固含量等不变化。

3.高精度伺服系统

● 直线伺服电机驱动的空气轴承台确保平稳运行和准确的涂层，走箔稳定，不发生走带滑动，严重抖动和褶皱。

4.完善配套软件

● 系统参数可视化，直接显示平台位置，刀头高度，狭缝厚度，涂布速度，注液速度，注液量等参数，配合配方存储功能，保存多组成熟的工艺参数实现良好的工艺重复性。

迈可诺技术有限公司

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