小型离子溅射仪是面向科研实验室开发的桌面镀膜设备，主要用于精密样品处理、微电子加工以及医疗耗材试样制备，设备采用低真空磁控溅射工艺，解决传统热蒸镀设备经常出现的样品受热损伤、膜层分布不均、膜层附着力偏弱等现实问题。很多高校、企业研发实验室房间桌面空间有限，没有条件安置大型镀膜装备，
小型离子溅射仪整机体积紧凑，重量控制合理，不需要规划专门的实验室隔间，普通实验台面就可以完成摆放部署，对场地的约束比较宽松。
小型离子溅射仪运行依靠电场磁场协同作用，磁场约束电子运动轨迹，电子不断和氩气发生碰撞，持续生成等离子体，带正电荷离子撞击贵金属靶材，靶材原子剥离之后沉积在样品表面形成纳米导电薄膜。整套工艺不需要对靶材做高温加热处理，实现低温镀膜，对于塑料、生物试样这类对温度变化敏感的样品，可以规避高温带来的样品形态改变问题，保障原始样品形貌完整保留下来。
设备腔体使用高透光硼硅酸盐玻璃，实验开展的时候，操作人员能够直接看到腔体内部等离子体状态，方便根据实际情况调整实验方案。设备可以兼容多种贵金属靶材，铂作为标配靶材，同时支持金、银靶材更换使用，镀层颗粒可以在对应区间做调整，以此匹配不同的实验目标。真空配置搭载皮拉尼真空计，覆盖较宽的真空测量区间，配合秒级定时器，镀膜的时长可以人为设定，实现膜层厚度可控。针对部分对热影响格外敏感的试样，还可以选择搭配水冷配件，进一步拓展设备可以处理的样品类型。
供电采用普通220V市电，不用改造实验室供电线路，设备内置过载、过压防护机制，接入惰性工艺气体的气路组件配置好，可以适配实验室高频次的实验任务。在扫描电镜制样工作中，绝缘样品经过小型离子溅射仪处理，生成导电薄膜，缓解荷电效应带来的成像干扰，获得质量较好的电镜图像。除电镜制样以外，还可以用来制备微型电化学电极，服务传感材料、新能源方向相关实验。高校教学实训过程中，学生可以操作设备完成薄膜沉积实训，理解磁控溅射整套技术逻辑。厂家配套完整售后，整机设置两年质保，为实验室长期开展镀膜实验提供支撑保障。
