二极溅射离子溅射仪属于物理气相沉积设备范畴，整套设备核心由阴极铂靶与阳极样品室组成，依靠二极溅射技术完成纳米导电薄膜制备工作。很多材料实验室在处理扫描电镜样品时，会遇到陶瓷、高分子、生物组织这类绝缘样品，电子束打在样品表面发生电荷堆积，直接造成图像模糊，无法开展高倍数微观形貌观察，
二极溅射离子溅射仪就是针对这类场景开发的预处理设备。
设备运行处在低真空条件，工作流程依靠电场驱动，电子在电场作用下获得动能，撞击腔体内充入的氩气，激发产生等离子体环境。等离子内部带正电的离子继续受电场加速，持续轰击阴极位置的靶材表面，靶材原子获取足够能量脱离靶体，向外扩散之后沉降在放置于阳极区域的样品表面，逐步堆积形成一层致密的纳米导电薄膜。和磁控溅射方案对比，二极溅射离子溅射仪不需要配置复杂的磁路组件，整机结构得到简化，很适合做成桌面小型设备，在对应的低真空区间内就可以维持稳定的溅射过程，成膜之后薄膜和基底之间具备不错的附着效果。
设备腔体选用高透光硼硅酸盐玻璃材质，实验人员在设备运行期间，可以直接观察腔体内部镀膜发生的完整状态，便于在实验过程中把握镀膜进程。配套机械泵和主机匹配度较好，从大气环境抽至工作真空只需要数分钟，样品放置区域适配小型试样，靶材和电极整合在一起，减少装配带来的偏差，保障镀膜的均匀表现。
除扫描电镜样品制样之外，二极溅射离子溅射仪还可以服务微电子相关实验，小型半导体芯片、柔性电极、微型传感器探头都可以开展表面导电处理，溅射得到的铂膜导电能力与化学稳定性表现良好，能够降低器件接触位置的电阻，适配微型器件表面改性的实验要求。医疗耗材研发阶段，也可以借助这套设备在耗材基底制备铂电极，铂材料本身具备生物相容属性，不会和检测样本发生反应，维持检测信号稳定输出。
在高校教学场景，材料、电子、生物相关专业可以借助这套设备完成小批量镀膜实验，设备上手门槛不高，学生可以直观认识二极溅射整套物理过程，把课本等离子体相关理论和实际实验结合起来。设备在交付之后，厂家会提供两年保修服务，易损件不在保修覆盖范围，保修期内可以提供上门维修以及配件更换，保修期结束以后依旧可以接收技术咨询与维护方面的指导，方便实验室长期使用设备开展各类实验工作。
