氧化锆气相色谱仪结合色谱分离技术与氧化锆固体电解质原电池检测原理，用于测定高纯惰性气体内部的微量氢气、氧气、甲烷、一氧化碳杂质含量，该仪器在1995年被纳入高纯气体分析行业标准HG/T2686‑95。
仪器依靠氧化锆原电池内被测组分发生电化学反应产生电动势来完成检测，氧化锆管需要维持650‑800℃的工作温度，利用氧浓差电势转换为可采集的电信号。设备选用高灵敏度氧化锆管作为检测器，配置具备防漏、防扩散效果的十二通气动隔膜阀，支持自动进样，保障分析结果的重复性。仪器搭载单片微处理器控制系统，整机气路密封表现较好，基线噪音低。设备可以搭配指数稀释器绘制标准工作曲线，不需要标准气就能够完成样品定量分析，也可按需选配色谱处理工作站等辅助设备。
该仪器氢气、氧气、甲烷最低检出限可达0.1μmol/mol，一氧化碳最低检出限0.5μmol/mol；基线漂移小于0.5mV每0.5小时，噪音≤0.05mV，开机之后稳定时间不超过一小时。设备外形尺寸520×490×560mm，整机重量60kg。
该设备多用于实验室高纯惰性气体检测，也可用于空分装置生产环节，对气体品质开展实时监测，可以完成氖气中氢、氩气中氧这类样品的分析工作，为高纯气体生产质量管控提供检测数据支撑。
