三维轮廓仪探针接触式轮廓仪

4D:  3D测量时序图

• 3D 成像抓取速度可达190帧/秒 (高可选1000 帧/秒)

• 时间分辨率可达100微秒 (zui快10 微秒可选)

• 动态垂直测量范围可达200微米

探针接触式轮廓仪

Smart-surface : UV sensitive polymer

3D形貌测量提供干涉测量级的亚纳米分辨率

• 任何物镜倍率下均保证亚纳米垂直分辨率

• 多种可选物镜，包括长工作距物镜、玻璃矫正物镜、水镜、油镜等

• 多环境下测量，包括真空、气氛、液体、透过光学窗口、温度湿度可控环境等

表征样品动态响应

• 热动力学参数响应 (压强、温度等)

• 气氛、液体环境响应 (例如沉积、腐蚀等)

• 机械力或电磁力响应

• 光辐射响应