Tergeo 等离子体系统-一种用于研发的等离子体蚀刻和清洗的经济高效的多功能解决方案。通过全自动系统控制确保一致、可重复的结果,Tergeo 系统可以产生各种等离子体,包括氧气、氩气、环境空气、氮气、氢气、SF6、水蒸气等,以有效去除碳氢化合物和无机表面污染物。其先进的功能不仅可以清洁和活化表面,还可以增强粘合强度,提高表面能,并使样品亲水,使其成为精确表面制备和改性的理想选择。
-引线键合、倒装芯片封装、器件封装和解封装
-SEM/TEM 样品清洗用于去除碳污染物和减少氧化物
-生物医用涂层前的表面处理及提高医用植入物的亲水性
-环氧树脂粘合前的光学、玻璃和基板清洁
-光致抗蚀剂灰化、除渣和硅晶片清洗
-PDMS、微流体、载玻片和芯片实验室
-改善金属对金属或复合材料的粘合
-改善塑料、聚合物和复合材料的粘合