多轴运动台是XYZT 4轴一体式精密定位平台，XYZ采用直线电机驱动，选用精密交叉滚柱导轨，具备非常优秀的性能和定位精度，XY轴空载截止频率可达120Hz以上，具备很好的速度稳定性，在4轴叠加的台面上方利用干涉仪5K的采样频率测试CUBE-4匀速段位置误差，每0.5mm位置动态跟随误差STD标准差小于50nm。Z轴空载截止频率可达200Hz以上。Theta轴采用旋转直驱电机，配备圆形导轨和光栅，兼具高转速和高精度。此外，Theta轴采用下沉隐藏式设计，使得CUBE-4整体高度较低，工作点下降有利于实际应用中提高定位精度。
此外，Z轴可在30ms内步进100μm，整定到±50nm。CUBE-4是一款兼具点到点的静态精度，同时具备非常突出的动态精度，可以适应对动态误差要求严格的生物或者晶圆检测扫描应用，Z轴可以根据传感器工作距高度实时高速调整，解决客户的运动控制难题。
(1)平行或垂直于楔形块方向测量；
(2)空载测试；
(3)沿轴线方向受力；
(4)适配-AS反馈，配置线性放大器；
(5)默认测试点位置为台面上方25 mm，单轴指标，多轴系统的性能指标与实际载荷和工作点位置有关；
(6)其他行程可定制。
