LAB210系列气浮直线台是纳米级定位精度的气浮平台,采用直线电机驱动,利用空气弹性势能作为支撑导轨,具备非常优秀的动态性能和定位精度,空载截止频率可达120Hz以上。气浮平台是正负压设计,空气负压保证空气导轨的正常气隙。对于一些大体积负载在气浮导轨上不均匀分布的应用,这种设计的优势就体现出来了,非常适合重负载的应用。
专业的设计和制造技术铸就了LAB210平台杰出的几何性能,超薄的气隙有利于减少步进稳定时间,LAB210平台的最小步进优于10nm;1mm和25mm步进快速整定测试可以分别在40ms和170ms内整定到±100nm。同时LAB210平台的平面度、直线度以及Pitch/Yaw/Roll摆角指标控制也相当出色。
LAB210系列
气浮直线台有较强的驱动能力,空载速度可达2000mm/s,空载加速度可达2g,主要应用于大型光学透镜检测、半导体领域的晶圆缺陷检测、精密制造和封装等,可以根据客户的应用提供灵活的定制方案。
备注
(1)适配-ASH反馈,配置线性放大器;
(2)空载,需配置相应功率的放大器;
(3)默认测试点位置为台面上方25 mm,单轴指标,多轴系统的性能指标与实际载荷和工作点位置有关;
(4)气缸供气需配置空滤三联件,必须清洁、干燥,过滤至0.25μm以下颗粒,建议使用纯度为99.9%的氮气。气压根据平台实际负载重量可调;
(5)为了防止空气轴承气压不足,建议安装气压开关,信号输入到运动控制器连接急停(E-STOP)端口。