高纯水发生仪除具有CS-C系列机型的一切性能特点外，尚具有在线监测功能，源水压力、出水电导率等实时显示，运行状态各指示灯显示，内容清晰直观，性能优良可靠，自动化程度更高。
高纯水发生仪也有人称之为高纯水机，或是高纯水器等等。所谓高纯水发生仪，就是一种采用离子树脂交换的方法来制取纯水的仪器。
纯水（去离子水）的制备一般有化学离子交换除盐，电渗析，反渗透，多次蒸馏等几种方式。
高纯水发生仪就是采用阴阳树脂离子交换的方式来制取纯水，现在市面上销售的高纯水发生仪（高纯水机）多是反渗透和离子交换相结合，或是二级反渗透的方式获得。
高纯水发生仪产生的水质一般可优于实验室三级水的标准，趋于二级水，在采用树脂的情况下也可达到实验室一级用水的标准。
现在销售的高纯水发生仪（高纯水机）通常采用的工艺流程是：自来水→精密滤芯→活性碳滤芯→增压泵→反渗透膜→离子交换柱→纯水（去离子水）。主机电路控制一般是采用一个电脑板，早期的机器没用电脑板控制，只是简单的开关控制。随着时间的发展，高纯水发生仪（高纯水机）也日趋于人性化，现在通常的机器都带有进水控制，高压满水（配备纯水桶才会有这个功能）自动停机，水压低或是没水时自动停机，在线监测（选配）等功能。
在水质的处理上，起主要作用的配件是反渗透膜和离子交换树脂柱。
