七星华创质量流量控制器流量计

质量流量控制器和质量流量计使 用 手 册1. 使用须知尊敬的用户，感谢您购买本公司生产的 D07 系列质量流量控制器/质量流量计产品。本手册详细叙述了正确、安全使用该系列产品的必要事项。产品使用者，请务必认真参阅本手册并理解后使用，在使用过程中，请注意带有 标志的文字及注意事项中包含的所有内容。对于未按照使用手册使用造成的财产损失或人身伤害，本公司有权不承担责任。本手册对您安装、维护及故障维修时，请妥善留存保管。2. 用途和特点质量流量计(Mass Flow Meter 缩写为 MFM)用于对气体的质量流量进行精密测量；质量流量控制器(Mass Flow Controller 缩写为 MFC)用于对气体的质量流量进行精密测量和控制。它们在半导体微电子工业、特种材料研制、化学工业、石油工业、医药、环保和真空等多种领域的科研和生产中有着重要的应用。其典型的应用场合包括: 电子工艺设备,如扩散、氧化、外延、CVD、等离子刻蚀、溅射、离子注入; 以及真空镀膜设备、光纤熔炼、微反应装置、混气配气系统、毛细管测量、气相色谱仪及其它分析仪器。D07 系列质量流量控制器和质量流量计具有精度高、重复性好、响应速度快、软启动、稳定可靠、工作压力范围宽等特点(可以在高压或真空条件下工作), 其操作使用方便,可任意位置安装, 并便于与计算机连接实现自动控制。D07 系列质量流量控制器和质量流量计一般与 D08 系列流量显示仪等产品配套使用,控制器与显示仪之间用专用电缆连接

七星华创质量流量控制器流量计

3. 主要技术指标表 1. D07-19B 型 MFC 性能指标编号 项 目 D07-19B1 流量规格( 0~5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM( 0~1,2,3,5,10,20,30) SLM2 准确度 ±1 % F.S. (20,30SLM: ±2 % F.S.)3 线性 ±0.5 % F.S. (20,30SLM: ±2 % F.S.)4 重复精度 ±0.2 % F.S.5 响应时间 ≤2 sec6 工作压差范围 ≤10SLM： 0.1 ~ 0.5 MPa (14.5~72.5 psid)＞10SLM： 0.1~ 0.3 MPa (14.5~43.5 psid)7 最大工作压力 1 MPa8 耐压 3 MPa (435.1 psig)9 工作环境温度 5 ℃ ~ 45 ℃10 输入输出信号 0 V ~ +5.00 V(输入阻抗大于 100K, 输出电流不大于 3mA)11 电源 +15 V 50 mA; -15V 200 mA12 外形尺寸 见图 413 重量 0.95 kg注意 :质量流量计和质量流量控制器出厂通常用氮气（N2）标定。质量流量的单位规定为: SCCM (标准毫升/分); SLM (标准升/分)标准状态规定为: 温度 --- 273.15K ( 0℃ ); 气压 — 101325 Pa (760mm Hg)在七星流量计 MFC/MFM 产品中心，单位 SCCM 和“mL/min, 0℃,1atm”等同，单位 SLM 和“L/min, 0℃,1atm”等同。 第 4 页 共 28 页F.S. (Full Scale): 满量程值表 2. D07-19BM 型 MFM 性能指标编号 项 目 D07-19BM1 流量规格 ( 0~5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM( 0~1,2,3,5,10,20,30) SLM2 准确度 ±1 % F.S. (20,30SLM: ±2 % F.S.)3 线性 ±0.5 % F.S. (20,30SLM: ±2 % F.S.)4 重复精度 ±0.2 % F.S.5 响应时间 ≤2sec6 气压降 <0.02 MPa (2.9 psid)7 最大工作压力 1 MPa8 耐压 10 MPa (1450.4 psig)9 工作环境温度 5 ℃ ~ 45 ℃10 输出信号 0 V ~ +5.00 V(输入阻抗大于 100K, 输出电流不大于 3mA)11 电源 +15 V 50 mA－15 V 50 mA12 外形尺寸 见图 413 重量 0.7 kg各型号产品的主要技术指标见表 1 和表 2。D07-19BM 型是 D07-19B 型的流量测量部分，同类型的 MFM 与 MFC 在流量计量部分的技术指标相同。4. 结构和工作原理4.1 结构质量流量计由流量传感器, 分流器通道和流量放大电路等部件组成；在质量流量计的基础上，再加上调节阀门和 PID 控制电路就构成了质量流量控制器。D07-19B 型质量流量控制器, 打开外罩后的结构如图 2 所示。