光学镀膜机真空泵是光学镀膜机真空系统的核心组件，对镀膜工艺的真空度、镀膜质量和生产效率起着关键作用。
机械泵
工作原理：通过机械运动改变泵腔内的容积，实现对气体的吸入、压缩和排出。旋片式真空泵是其中常见的一种，转子旋转时，旋片在离心力和弹簧力的作用下与泵腔内壁紧密接触，分隔泵腔并改变容积，从而抽除气体。
特点：成本低廉、经济耐用，工作范围为大气至低真空，极限真空可达10⁻³Torr（0.1Pa）。但存在返油、振动等缺点。
罗茨真空泵
工作原理：泵内装有两个相反方向同步旋转的叶形转子，通过转子的推压作用移动气体实现抽气。
特点：在较宽的压力范围内有较大的抽速，极限真空度一般在10⁻³-10⁻⁴Torr左右。常与机械真空泵串联使用，作为中间级真空泵提高抽气效率。
扩散真空泵
工作原理：利用高速运动的蒸汽流携带气体分子实现抽除。工作液被加热汽化形成高速蒸汽流，与进入泵内的气体分子碰撞并携带其向下运动，最终被前级真空泵抽走。
特点：能够获得高真空，但需要配合前级泵使用。
