HVA 3位真空闸阀 21700 系列
上海伯东 HVA 3位真空闸阀 21700 系列适用于刻蚀, CVD, 真空镀膜和其他需要压力控制工艺的行业. HVA 3位真空闸阀与上游质量流量控制器一起使用时, 提供异常压力控制功能, 该真空闸阀也适用于从粗真空到高真空的平稳过渡. HVA 3位真空闸阀采用两个气动电磁阀和一个空气压力调节器控制阀门的3种开启方式: 一个电磁阀控制阀门的关闭和开启, 另一个电磁阀用于控制和调节阀门的任意开启位置. 21700 系列3位真空闸阀广泛应用于低温泵, 涡轮分子泵, 及其他对清洁度要求高, 低除气的高真空行业.

HVA 3位真空闸阀 21700 系列产品特点
1. 机械预设, 遥控过渡阀位
2. 三个位置都有指示器
3. 标准或者定制法兰
4. 至少一百万使用周期
5. 任意位置安装

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