JJF1944-2021电容式测微仪校准规范

货号：AUBAT-1944D

斜块式测微仪检定器

小角度检查仪

定制产品请先咨询

JJF1944-2021电容式测微仪校准规范用于量程为 20 pm~10 mm，分辨力为 1nm~1μm 的电容式测微仪的校准。电容式测微仪(简称测微仪) 是采用电容调频或电容运算原理的一种非接触式尺寸精密测量仪器，适用于航空、医疗、精密制造等行业中的几何量测量。

计量特性

1.重复性 测微仪的重复性应不大于 0.01% FS。

2.示值误差 测微仪的*大允许误差 MPE: 0.1% FS

3.稳定性 测微仪的稳定性在 4 h 内应不大于 2 nm+0.02% FS。

校准方法：

1.重复性

斜块式测微仪检定器法将装夹在斜块式测微仪检定器上的测头，对准放在工作台上的(3~5)mm 范围内意一块 5 等量块，调整测头垂直位移，使仪器示值显示在测量范围内。在工作条件不变的情况下推动量块，对同一受检点连续测量 5 次，以公式 计算重复性。

2.示值误差

量块测量法适用于分辨力大于或等于 10 nm，景程2 mm 的测微仪，见图 3所示校准前，在小角度检查仪的左右两指示计等架孔中，分别装上接触式干涉仪光管.并将孔距为(50士0.02)mm 的夹具，装在左端接触式干涉仪光管上。在夹具左端的孔中装上测微仪的测头，经调整，使测头轴线与两个接触式干涉仪光管轴线共面。小角度检查仪经过上述调整，构成了 50:500 即 1:10 的杠杆机构，借助框式水平仪调整桥形工作台使其台面基本水平。仪器调整好后，根据被校仪器的分辨力和量程选用相应尺寸的量块进行校准。受校点应不少于 5点，在量程内均匀分布。

3.稳定性

将测微仪装夹和调整好传感器，示值稳定后，记录测微仪的**次示值，然后每隔 1 h 记录一次示值，连续观察 4 ，取测微仪示值的*大值与*小值之差为稳定性。允许使用满足要求的其他稳定性校准装置