JJF1351-2012显微J二维纳米级台阶线间隔样板-无锡奥本精密工业有限公司

JJF1351-2012扫描探针显微镜校准规范
货号AUBAT-1351S
纳米级台阶样板
校准扫描探针显微镜Z向漂移
纳米线间隔样板
校准X Y轴位移测量误差
二维纳米线间隔样板
校准X Y坐标正交性误差

JJF1351-2012扫描探针显微镜校准规范适用于以几何表面形貌为测量对象的扫描探针显微镜的校准。扫描探针显微镜具有高分辨力、实时、原位成像等特征。对样品无特殊要求，不受样品的干燥度、形状、硬度、纯度等限制，可在大气、常温环境甚至是溶液中成像。广泛应用于纳米科技、材料科学、物理、化学和生命科学等领域。

校准项目和校准方法
1 扫描探针显微镜 Z 向漂移
用纳米级台阶样板中平面测量区域作被测对象，将扫描探针显微镜调整在测量状态。
关闭扫描探针显微镜的 X、Y 扫描，仅保留 Z 向扫描功能，行扫描频率 1 Hz，行扫描分辨力选取扫描探针显微镜的*大值，按约定的时间连续测量，以约定时间内测量数据的均方根 (RMIS) 作为该项的校准结果。

2校准X Y轴位移测量误差
测量时通常在纳米线间隔标准样板上选取 6 个隔以上的周期并兼顾测量范围不小于扫描探针显微镜扫描器扫描范围的 1/3。
线间隔周期起点以延长边缘数据加权重心法确定。线间隔周期位移点依次计算各测量周期的线间隔周期位移点，计算出起始与终止间隔的位移并除以周期数以确定扫描探针显微镜的 X、Y 轴位移测量误差，并记录相关加权系数的选取。

3 X、Y 坐标正交性误差
扫描探针显微镜测量 X、Y 方向正交性误差采用两维纳米线间隔样板完成。用扫描探针显微镜进行测量时，在两维纳米线间隔样板有效测量区域采用面扫描或十字垂线的线扫描方式进行。以计算线间隔周期*小值时的取样方向为该方向线间隔的垂线方向。通过测量的形貌图或网格图中的坐标值分别确定样板中行、列刻线的斜率，并计算出两拟合线的夹角作为 X、Y 坐标正交角度，该正交角度与标准样板正交角度的柒为扫描探针显微镜对应的 X、Y 坐标正交性误差，如此连续测量 10 次，以 10 次的平均值作为正交性测量结果，与纳米线间隔样板正交结果的差作为该项的测量结果。