JJF(沪苏浙皖)4001-202微纳米线间隔标准样板校准规范

货号：AUBAT-4001

二维栅格

JJF(苏)246-2013微纳米线间隔标准样板校准规范(参考长三角技术规范JJF(沪)4001-2021)

校准项目和校准方法

平均线间隔

使用计量型扫描探针显微镜扫描被测样板，扫描前应确定与栅格结构正交的扫描方向，沿正交扫描方向扫描样板特征区域。选3 个测量区域，在每个测量区域内进行扫描，扫描曲线数应不少于 3 条，每条扫描曲线应包含6 个以上线间隔；通过重心法，对每条曲线分别进行线间隔计算：选取每个刻线高度在中线以上的所有测量点坐标值，按公式得到该节测量方向上的重心坐标值。

二维栅格线的正交角度

进行二维线间隔正交性测量时，在有效测量区域采用面扫描或十字垂线的扫描方式进行平均线间隔的计算。分别记录X 测量方向和Y测量方向各测量点的（X、Y）坐标值，并通过公式计算X、Y测量方向的斜率。如此连续测量 10 次，按式计算 10 次的平均值作为二维纳米线间隔栅格样板正交性的测量结果。

线间隔均匀性

以测量区域中心线为中心测量线，两侧分别取 5 条均匀分布的测量线，测量线间隔（d）根据测量区域的大小确定，以均匀覆盖测量区域为原则。分别对每条测量线上的线间隔进行一次测量，以 11 条测量线间隔的实验标准差作为线间隔均匀性的测量结果。