JJG661-2004平面等倾干涉仪检定规程
货号AUBAT-661D
长平晶
210mm 1级长平晶；检定钢球支承架的工作性能，两个直径方向达到 5 个干涉级数；
标准干涉仪直径测量的标准偏差，应不超过 0.01mm。；
300mm 平面度：0.0004mm；检定工作台移动的直线度；
平面等倾干涉仪是一种用于平面量值传递的标准计量器具，主要用于检定尺寸较大的平晶、各种尺寸的长平晶和标准平尺等的平面度。
工作台移动的直线度
在工作台上放一尺寸 300mm 的研磨平尺，且与工作台运动方向平行，用磁性表架上的百分表与工作面接触，对好零位，工作台从一端移至另一端，在百分表读出*大示值与*小示值，*大示值与*小示值之差为直线度。在全行程范围内检定。工作台移动的扭摆和回转运动的摆动是通过目镜观察干涉环中心的位置变化来确定的，干涉环中心的位置不允许有目力可见的变化。
工作台移动的示值误差及回程误差
货号AUBAT-661D
长平晶
210mm 1级长平晶；检定钢球支承架的工作性能，两个直径方向达到 5 个干涉级数；
标准干涉仪直径测量的标准偏差，应不超过 0.01mm。；
干涉环环小数干涉级测量的重复性，应小于 0.025 个干涉级数。
300mm 平面度：0.0004mm；检定工作台移动的直线度；
平面等倾干涉仪是一种用于平面量值传递的标准计量器具，主要用于检定尺寸较大的平晶、各种尺寸的长平晶和标准平尺等的平面度。
工作台移动的直线度
在工作台上放一尺寸 300mm 的研磨平尺，且与工作台运动方向平行，用磁性表架上的百分表与工作面接触，对好零位，工作台从一端移至另一端，在百分表读出*大示值与*小示值，*大示值与*小示值之差为直线度。在全行程范围内检定。工作台移动的扭摆和回转运动的摆动是通过目镜观察干涉环中心的位置变化来确定的，干涉环中心的位置不允许有目力可见的变化。
钢球支承架的工作性能
按检定平晶和长平晶的要求放置平晶或长平晶及其支架，分别移动和转动工作台，并观察干级数的变化。干涉环的清晰度不得有目力可见的变化。工作台移动的示值误差及回程误差
将尺寸等于 500mm 的钢直尺或 300mm 的玻璃标尺放在工作台上，取下测微目镜，接上接长管，调整测微目镜的位置，在视场内能清晰看到刻度尺上的刻线: 调整刻度尺使其刻线末端连线与工作台运动方向平行:调整工作台位置和测微目镜分划板，使刻度尺零刻线与目镜分划板上的十字线重合，再将手轮的 10mm 指示盘及 0.1mm 指示盘的零线都与指标线对准，然后每隔 50mm 用测微目镜对准，从手轮上读数，读数值与实际值之差即为该点的示值误差。对于 300mm 的玻璃标尺在检完 300mm 后，可在 300mm位置上把刻度尺移 300mm，并使零刻线与分划板上的十字对准，依次再检 200mm。回程误差是在工作台的中间及距两边各 150mm 处的三个位置上进行检定。正反两个方向转动手轮，对准同一刻线时手轮上的读数差即为回程误差。
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