JJF1831-2020球径仪校准规范
货号AUBAT-1831Q
1.标准凸(凹) 球面样板
2.平面平晶
3.三等量块
4.专用环
接触式球径仪是一种用于测量球面曲率半径的计量仪器,主要用于测量球面光学对板、光学样板、球面透镜、球面反射镜等的球面曲率半径。球径仪主要由测量环和矢高测量机构组成,通过测量球面的矢高而间接测量出球面的曲率半径。
测量标准及配套设备
1标准凸(凹) 球面样板
标准凸 (凹) 球面样板技术指标见表 。
标准球面样板标称半径 R/mm | 技术指示 | ||
标准凸球面样板的圆度 | 半径光圈数 (r/2) | 光圈局部误差 (r/2) | |
5~85 | ≦0.3μm | ≦0.5 | ≦0.1 |
86~130 | ≦2μm | ||
注: 标准凸球面样板标称半径(5~130) mm 范围内应按或超半球型式制造。样板均应凸凹成对制造与校准:半径光圈数、光圈局部误差分别为凸凹样板相合时所产生的干涉圈数 (或干涉条纹数) 及其不规则程度。 | |||
2 平面平晶
平面平晶与标准球面样板的质量差不应超过 100 g。
3 三等量块
用于校准矢高测量机构的示值误差。该组量块包含以下标称长度 (单位: mm):2,5,10,20,30.
4 专用环
校准球径仪的矢高测量机构的示值误差时,专用环是安放平晶的辅助工具,其工作面与定位面的平行度不超过 5μm,高度为 30 mm (负公差)。
校准方法:
1球面曲率半径测量的相对误差
在校准球径仪的球面曲率半径测量的相对误差时,对刃型测量环内径、外径分别用标准凸球面样板、标准凹球面样板作为测量标准;对钢球型测量环,用凸凹成对的标准球面样板组作为测量标准。
2矢高测量机构的示值误差
取下测量环,将专用环安装在仪器上,放上平面平晶,移动测量轴使测头与晶工作面相接触。通过矢高测量机构读数,重复测量 3 次取其平均值作为起始点“ao测得值。然后,依次将标称长度为 (单位:mm) 2,5,10,20,30 的量块分别与平研合后放到仪器上,适当恒温后,依次通过矢高测量机构读数,重复测量 3 次取其平值作为各点的测得值 ai。
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