JJF1707-2018电解式(库仑)测厚仪校准规范

货号：AUBAT-1707D

标准厚度片

电解式测厚仪标准厚度片

库仑测厚仪标准厚度片

标准厚度值的相对扩展不确定度应不大于 5% (k=2)，厚度均匀性不大于 2%

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JJF1707-2018电解式(库仑)测厚仪校准规范适用于测量范围为0~20μm、分辨力为 0.1μm和0.01μm的电解式(库仑) 测厚仪校准，不适用于多层镍厚度和线材镀层厚度测量的电解式 (库仑) 测厚仪校准。电解式(库仑) 测厚仪，又称电解式测厚仪、库仑测厚仪，是一种破坏式测量导电性金属镀层厚度的常用仪器。电解式 (库仑，测厚仪依据法拉第定律设计，测量原理是基于镀层的恒电流阳极溶解 (退镀)。电解式(库) 测厚仪对被测金属镀层进行局部阳极溶解，通过计算溶解阳极镀层所需的电量来进行镀层厚度的测量。

计量特性

1 厚度测量示值误差

仪器镀层厚度测量的相对示值误差应不超过士10%。

2厚度测量示值重复性

仪器镀层厚度测量的相对示值重复性应不超过 5%。

校准方法：

1.厚度测量示值误差

首先按使用说明书对被校仪器进行参数设置，必要时进行系统调校，再按仪器测量范围，选取 1~5 种不同材料的镀层/基体类型，每种类型再选择 1~2 个标准厚度值不同的标准厚度片。通常情况下，建议选择 Cu/Fe、Ni/Cu 和 Cr/Ni三种类型的标准厚度片，每种厚度片选取 1个厚度值进行校准。Cr/Ni类型标准厚度片标准厚度值一般为(0.5~1) um，Cu/Fe和 Ni/Cu 类型标准厚度片的标准厚度值为 (10~15) um。允许根据仪器的实际使用情况和用户要求选择其他类型的标准厚度片和标准厚度值进行校准。

分别在每个标准厚度片同一测量区域相邻位置处重复测量 3 次并记录仪器示值，计算算术平均值h,作为第 个标准厚度片的测量结果，根据公式计算仪器厚度测量示值误差。

2.厚度测量示值重复性

在仪器有效测量范围内，选取一个仪器常用的镀层/基体类型的标准厚度片。建议选择 Cu/Fe 和 Ni/Cu 中的一种，标准厚度片的标准厚度值为 (10~15) pm。仪器测量程序与所选标准厚度片的镀层/基体类型保持一致，在同一测量区域相邻位置处连续测量该标准厚度片 5 次。实验标准差5 除以仪器 5 次测量结果的算术平均值h所得到的百分数即为仪器镀层厚度测量的相对示值重复性。