JJF1739-2019数字式激光球面干涉仪校准规范

货号：AUBAT-1739S

标准球面反射镜

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校准项目和校准方法

首先检查数字式激光球面于涉仪外观和各部分相互作用，确定没有影响校准计量性能的因素后再进行校准工作。

示值误差

 直接比较法

直接比较法适用于准确度为 /10 级和 /20 级球面干涉仪的校准。首先根据数字式激光球面干涉仪球面镜头 数选择与之匹配的标准球面反射镜，入/10 级数字式激光球面干涉仪需要选择 PVr 小于或等于 21.0 nm /30) 的标准球面反射镜，入/20 级数字式激光球面干涉仪需要选择 PVr 小于或等于 10.5 nm (/60)的标准球面反射镜，并且数字式激光球面于涉仪解相位算法需要与 F 数相匹配。然后将标准球面反射镜安装在调整架上，通过精密调整使干涉条纹为零条纹或者条纹数*少(此时标准球面反射镜曲率半径中小与于涉仪球面镜头售点重合，即共售位置)。通过软件去除常数项、倾斜项和 Power 项后，得到数字式激光球面干涉仪面形测量结果 M(i，j)，被校准数字式激光球面干涉仪的测量面形偏差 I (，j) 按式计算求得。

三位置法

三位置法适用于 入/40 级数字式激光球面干涉仪的校准，

首先根据数字式激光球面干涉仪球面镜头 F 数选择与之匹配的标准球面反射镜并且数字式激光球面干涉仪解相位算法需要与 F 数相匹配。然后将标准球面反射镜安装在调整架上，调整使标准球面反射镜顶点位于数字式激光球面干涉仪球面镜头焦点位置(即猫眼位置)，如图 2 (a) 所示，精密调整标准球面反射镜使干涉条纹为零条纹或条纹数*少，通过软件去除常数项、倾斜项和 Power 项后，得到数字式激光球面干涉仪猫眼位置面形测量结果 M。(i，i); 然后将标准球面反射镜移动到共焦位置，精密调整标准球面反射镜使于涉条纹为零条纹，进行 0位置共焦测量，如图 2 (b) 所示;*后将标准球面反射镜绕光轴旋转 180，精密调整标准球面反射镜使干涉条纹为零条纹，进行 180°位置共焦测量，如图 2 (c) 所示。通过软件去除常数项、倾斜项和Power 项后分别得到 0°和 180°位置共焦量结果。

数字式激光球面干涉仪直接比较法校准不确定度评定示例

测量方法

入/10 级数字式激光球面干涉仪需要选择 PVr 小于或等于 21.0 nm (/30) 的标准球面反射镜进行校准，而a/20 级数字式激光球面干涉仪需要选择 PVr 小于或等于10.5 nm (a/60) 的标准球面反射镜进行校准。在数字式激光球面干涉仪主机上安装干涉仪球面镜头，然后将 F 数与之匹配的标准球面反射镜安装在调整架上与干涉仪球面镜头构成零位干涉腔。待干涉腔稳定后，精密调整使干涉条纹为零条纹或*少条纹数，重复测量 10 次。例:/10 级数字式激光球面涉仪球面镜头 F 数为 0.75、面形偏差标称值为入/10 (PVr)，选用 PVr 小于或等于 10.5 nm (/60) 的标准球面反射镜进行校准，重复测量 10 次。