JJF1252-2010激光千分尺平行度检查仪校准规范

货号AUBAT-1252J

双面反射镜

平面度小于0.1μm 平行度小于0.6μm 校准示值误差。

 定制产品

激光千分尺平行度检查仪是利用激光干涉原理，测量外径千分尺 (测量范围 150mm~2000mm) 两量面平行度的专用仪器。仪器通过光学系统把激光器发出的光分别照射在被测千分尺两个测量面上，先后在光屏上形成两组干涉环，通过测量两组干涉环的中心距离来确定被测千分尺两测量面平行度。

计量特性

1活动标尺的示值误差

毫米分度     厘米分度     全 长

士0.10          士0.15         士0.20

2活动标尺旋转中心与公差圆中心的偏移量

活动标尺旋转中心与公差圆中心的偏移量不超过 0.5 mm

3示值误差

示值*大允许误差 ,**值不超过 2 mm。

4测量重复性

测量重复性不超过 0.2 mm。

示值误差

平行度检查仪示值误差应先用量块校准，再用自准直仪和双面反射镜校准。

用量块组成的标准平行平面校准

测量时，标准平行平面由一块 300 mm 和两 3 mm~5 mm 的3 等量块组合而成如图 4 所示 (可借助量块附件的专用夹具组合成)。根据 300 mm 量块尺寸从附录 C选取 D、d 值，将光屏座指标线对准 D尺上?44 mm 刻线，量块 B面对准 d 尺 130 mm刻线，移动反射镜，使激光束射在量块测景面 A'上，在光屏上产生干涉环工后，调整反射镜及标准棱镜使干涉环中心位予公差圆中心;再平移反射镜，使激光光束射在量块测量面 B'上，转动活动标尺，读取干涉环中心与公差圆中心的距离 rs。示值误差i=rs。

用自准直仪和双面反射镜校准

在仪器的测量范围内选择均匀分布的 3 个测量位置校准。测量时，根据测量位置分别从附录 C 中选取相应的 D、d 值。按照选取的 D、d 值将仪器工作台放置在标准棱镜右侧合适位置，在工作台上安装好双面反射镜，使双面反射镜的 a 面对准 d 值指标线光屏座指标线对准相应的 D 值。调整仪器，使双面反射镜的 a 面反射光与标准棱镜的 B 面反射光相干涉，产生干涉环工后，调整反射镜及标准棱镜使干涉环中心位于公差圆中心;移动自准直仪使其物镜对准双面反射镜 b 面，并读数作为初始值: 转动双面反射镜使光屏上的于涉环沿水平(或竖直) 方向移动形成一测量角度，在光屏上形成一组新的干涉环]; 用活动标尺读取干涉环I的中心与公差圆中心的距离 rs; 从自准直仪上读出双面反射镜的转动角度o;根据 d 值从附录 C 中查出相应的角值 B换算系数计算差值 。