采用了三重扫描方式，运用激光共聚焦、白光干涉、聚焦变化等三种不同的扫描原理，高倍率和低倍率，平面、凹凸表面的细微粗糙度，以及镜面体，透明体等。基恩士VK-X3000系列形状测量激光显微系统拥有应对多种样品的测量能力（从1nm到50mm），纳米/微米/毫米一台完成测量。

观察

从光学显微镜到SEM领域一台设备涵盖

· 42 至 28800 倍

· 无需对焦

· 适用于多种样品

测量

非接触瞬间扫描形状

· 不会损伤目标物

· 纳米级别也可准确测量

· 透明体和坡度大的目标物也可测量

分析

希望了解的表面“差异"一目了然

· 定量化微小形状

· 轻松比较多个样品

· 粗糙度分析

三重扫描方式

解决“难以测量"的难题

可根据样品工件的材料、形状和测量范围，选择激光共聚焦、白光干涉、聚焦变化等三种不同的扫描原理，进行高精度测量。