让您的大尺寸样品检测流程更加顺畅
MX63和MX63L显微镜系统经过优化，适用于尺寸300 mm的晶圆、平板显示器、电路板以及其他大尺寸样品的高质量检测。其采用的模块化设计使您能够选择需要的组件，获得根据应用定制的系统。
这两款符合人体工学设计且人性化的显微镜有助于在提高工作效率的同时，保持检测员的工作舒适性。与PRECiV图像分析软件结合使用时，可以简化从观察到报告创建的整个工作流程。
的分析工具
MX63系列的各种观察功能可生成清晰锐利的图像，让用户能够对样品进行可靠的缺陷检测。全新照明技术和PRECiV图像分析软件的图像采集选项为用户评估样品和记录结果提供了更多选择。
从不可见到可见：MIX观察和图像采集
MIX观察技术通过将暗场与明场、荧光或偏振光等其他观察方法相结合，生成的观察图像。MIX观察技术使用户能够查看使用传统显微镜难以看到的缺陷。暗场观察所用的环形LED照明器具有在时间仅使用一个象限的定向暗场功能。该功能可减少样品光晕，对于样品表面纹理的可视化非常有用。
轻松生成全景图像：即时MIA
使用多图像拼接（MIA）功能时，用户只需转动手动载物台上的KY旋钮，即可快速轻松完成图像拼接 — 电动载物台无需进行该操作。PRECiV软件采用模式识别生成全景图像，让用户获得更宽的视场。
利用HDR同时采集明亮区域和暗光区域
采用图像处理技术的高动态范围（HDR）可调整图像内的亮度差异，从而减少眩光。HDR改善了数字图像的视觉品质，有助于生成具有专业级外观的报告。
从基本测量到高级分析
测量对于质量、工艺控制和检测至关重要。鉴于这一点，即便是入门级PRECiV软件包也融入了交互式测量功能的全部菜单，并且所有测量结果都与图像文件一起保存以便存档。此外，PRECiV材料解决方案还为复杂图像分析提供面向工作流程的直观界面。只需单击一下按钮，即可快速精准执行图像分析任务。由于大幅缩减了重复任务的处理时间，操作员可以专注于手头的检测工作。
高效的报告创建
与图像采集和测量相比，创建报告通常需要花费更长的时间。PRECiV软件提供了直观的报告创建功能，可以根据预定义的模板多次生成智能、复杂的报告。编辑操作非常简单，报告可导出为Microsoft Word或PowerPoint文件。此外，PRECiV软件的报告功能可对采集的图像进行数字变焦和倍率放大。报告文件大小适中，更便于通过电子邮件进行数据交换。
| MX63 | MX63L | ||
| 光学系统 | UIS2光学系统（无限远校正系统） | ||
| 显微镜镜架 | 反射光照明 | 白光LED（带光强度管理器）12 V 100 W卤素灯，100W汞灯，光导 明场/暗场/反射镜分光镜组件手动切换。（反射镜分光镜组件为选配件。） 通过手动操作调整3位编码分光镜组件 内置电动孔径光阑（针对所有物镜预设，暗场自动打开） 观察模式：明场、暗场、微分干涉对比度（DIC）*1、简易偏振光*1、荧光*1、红外和MIX观察（4个定向暗场）*2 *1 选配分光镜组件，*2 需使用MIX观察配置 | |
| 透射光照明 | 透射光照明装置：需使用MX-TILA或MX-TILLB。 - MX-TILLA：聚光镜（数值孔径 0.5）和孔径光阑 - MX-TILLB：聚光镜（数值孔径 0.6）、孔径光阑和视场光阑 光源：LG-LSLED（LED光源）光导：LG-SF 观察模式：明场、简易偏振光 | ||
| 对焦 | 行程：32 mm 每转行程微调：100 μm 最小分度：1 μm 配上限限位器和粗调手柄扭矩调节 | ||
| 载荷重量（包括载物台和支架） | 8 kg | 15 kg | |
| 观察筒 | 宽视场（FN 22 mm） | 正像三目镜筒：U-ETR4 正像可调倾角三目镜筒：U-TTR-2 倒像三目镜筒：U-TR30-2、U-TR30IR（用于红外观察） 倒置双目镜筒：U-BI30-2 倒像可调倾角双目镜筒：U-TBI30 | |
| 超宽视场（FN 26.5 mm） | 正像可调倾角三目镜筒：MX-SWETTR（光程切换99% [目镜]：0 [相机] 或0：99%） 正像可调倾角三目镜筒：U-SWETTR（光程切换99% [目镜]：0 [相机] 或20%：80%） 倒像三目镜筒：U-SWTR-3 | ||
| 电动物镜转换器 | 明场 明场和暗场 | ||
| 载物台（X x Y） | 带内置离合驱动的同轴右手柄：MX-SIC8R 带内置离合驱动的同轴右手柄：MX-SIC6R2 | 带内置离合驱动的同轴右手柄：MX-SIC1412R2 行程：356 x 305 mm 透射光照明区域：356 x 284 mm | |
| 重量 | 约35.6kg（显微镜镜架26kg） | 约44kg（显微镜镜架28.5kg） | |
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