概述
nXDS-C 泵是改进型的 nXDS，适用于蒸汽处理制程，可用于某些涉及腐蚀性物质的泵送应用。nXDS-C 型具有 Chemraz® 内部阀和不锈钢接头，可提供额外的泵送介质防护。
应用
- 一般清洁泵送应用
- 电子扫描显微镜 - SEM
- 射束线和高能物理
- 前级涡轮泵
- 速离心机
- 覆层
- 低温学
- 脱气/硫化 - 油，环氧树脂
- 蒸馏/萃取/过滤
- 冷冻干燥
- 熔炉
- 凝胶体干燥
- 实验室工作台上真空
- 激光、气体回收和再循环
- 氦检漏仪
- 负载锁和传输腔
- 稀有气体再循环
- 稀有气体回收
- 冷冻制造
- 旋转离心蒸发器
- SEM/FIB（离子束维修）
- 溶剂回收
- 表面科学仪器
特性与优势
- 真空外壳中不需要使用润滑剂，密封可的清洁和干燥真空，防止交叉污染
- 无大气压到真空的轴封可使轴承隔离，从而阻止制程攻击，轴承也能以更低温度运行，使用时间更长
- 无需更换润滑油，也就消除了处置被污染的润滑油所需的费用
- 简单的单侧滚轴设计意味着例行维护工作可在数分钟内完成，降低运行成本，尽可能延长正常运行时间
- 用于实现蒸汽泵送的气镇功能
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