超高真空高低温耐辐射位移台具有很高的刚性和精度，使用特殊处理的交叉滚子导轨，非常适合于偏载的应用，并且通过金刚石校正的导螺杆、精密研磨的消间隙螺母、超高真空电机、超高真空兼容的材料、采用防侧隙正齿轮传动装置，可选配雷尼绍的超高真空光栅尺或者超高真空限位开关。以及特殊传动装置-间隙可忽略不计从而达到平滑精密运动。可以直接搭建XYZ
可根据要求定制；
适用于真空度:1x10-10mbar，工作环境温度:-65/-196℃～+175℃，耐辐照的总吸收剂量:1×10⁶Gy
标准品真空度10-3pa到10-4pa 温度范围常温
真空系列位移台项目开发的特种电机样机已经实现在和民用领域的使用，并形成如下产品优势：
1. 真空、高低温(LOX 10-7pa, -196°C~200°C)环境。
2. 工作环境温度-196°C至+200°C, 线圈温度可达300°C,适用真空度 l.OXlOTa,耐辐射剂量106Gy 可提供低压直流和高压交流选择，可选配内置温度传感器。
3. 标准设计28、35、42、57、86框号两相四线制混合式真空步进电机
4. 标准化设计生产100~750W真空伺服电机系列
5. 基于建立的零部件材料系列体系，可以实现不同温度范围、不同规格尺寸的产品定制。
6. 可进行耐辐射、耐盐雾、抗冲击、抗霉菌功能拓展,精准匹配客户需求。
7. 高洁净度的使用环境也是可以选用的。特别的材料选择，完善的后端处理工艺使其在高洁净度的环境中使用。
可根据要求定制；
适用于真空度:1x10-10mbar，工作环境温度:-65/-196℃～+175℃，耐辐照的总吸收剂量:1×10⁶Gy
标准品真空度10-3pa到10-4pa 温度范围常温
真空系列位移台项目开发的特种电机样机已经实现在和民用领域的使用，并形成如下产品优势：
1. 真空、高低温(LOX 10-7pa, -196°C~200°C)环境。
2. 工作环境温度-196°C至+200°C, 线圈温度可达300°C,适用真空度 l.OXlOTa,耐辐射剂量106Gy 可提供低压直流和高压交流选择，可选配内置温度传感器。
3. 标准设计28、35、42、57、86框号两相四线制混合式真空步进电机
4. 标准化设计生产100~750W真空伺服电机系列
5. 基于建立的零部件材料系列体系，可以实现不同温度范围、不同规格尺寸的产品定制。
6. 可进行耐辐射、耐盐雾、抗冲击、抗霉菌功能拓展,精准匹配客户需求。
7. 高洁净度的使用环境也是可以选用的。特别的材料选择，完善的后端处理工艺使其在高洁净度的环境中使用。
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