多种组维方式,系统线性灵敏度优于0.5μm,角度灵敏度优于23.4″,高稳定性,高性价比。
X | Y | Z | |
RU3EL | RUB10-60LN | RUB30-60LK | RUB10-60RN |
RU3ER | RUB10-60RN | RUB30-60RK | RUB10-60LN |
行程 | 粗动:±6.5mm 微动;±0.3mm | ||
分辨率 | 粗动:10μM 微动:0.5μM | ||
光轴高 | 109mm |
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