轴系 | X轴 | Y轴 | Z轴 | |
产品型号 | DZRU-0516-01-00 | DZRU-0516-01-00 | RU200TA400H | |
结构描述 | 行程 | 200MM | 200MM | 400MM |
直线电机 | ILM5-L24S-TP-3.0 | ILM5-L24S-TP-3.0 | - | |
导轨 | SHS15V2SS-520L P-II | SHS15V2SS-520L P-II | 高精密线性滑块导轨 | |
主体材料 | 铝合金/不锈钢 | |||
表面处理方式 | 阳极氧化发黑 | |||
台面承载 | 5-10KG | 5-10KG | 20KG | |
重量 | 16.9KG | 16.9KG | 7.2KG | |
精度描述 | 分辨率 | 0.1uM | 0.1uM | 25u/50U(无细分)1.25u/2.5u(20细分) |
速度 | 600MM/S | 600MM/S | 50MM/SEC或100MMSEC | |
重复定位精度 | 1uM | 1uM | 2uM | |
定位精度 | 3uM | 3uM | 5uM | |
直线度 | 2uM | 2uM | 5uM | |
运动平行度 | 5uM | 5uM | 20uM |
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