1.产品简介

　　八氟环丁烷（C318）是一种无色无臭、非易燃的气体。易液化，在21.1℃时，S.P.为274kPa。它极稳定，在正常条件下不与其它物质反应，在高温(600℃)时会分解。八氟环丁烷是无毒气体，但不要将它置于火焰温度下，因为它会分解放出有毒物质。气态绝缘体、泡沫制剂、推进剂。

　　2.物性参数

　　3.主要用途

　　主要用于食品工业的喷射剂、制冷剂，集成电路蚀刻剂，与六氟化硫混合作电介质，含氟化合物聚合时的介质。

　　4. 产品标志、包装、贮存、运输说明

　　包装

　　八氟环丁烷钢瓶的充装值为1.296kg/l。

　　贮存

　　钢瓶阀门关紧后再盖紧闷头和钢瓶盖，以防泄漏。钢瓶堆放在通风、干燥、安全处，并远离热源。

　　运输

　　钢瓶运输中应避免激烈震荡，

电子气体，半导体行业重要原材料

电子气体简介

电子特种气体（简称电子特气）是特种气体的一个重要分支，是集成电路（IC）、平面显示器件（LCD、 LED、OLED）、太阳能(7.320, 0.25, 3.54%)电池等电子工业生产的原材料。

通常半导体生产行业，将气体划分成常用气体和特殊气体两类。其中，常用气体指集中供给而且使 用非常多的气体，比如 N2、H2、O2、Ar、He 等。特种气体指半导体生产环节中，比如延伸、离子注进、 掺和、洗涤、遮掩膜形成过程中使用到一些化学气体，也就是气体类别中的电子气体，比如高纯度的 SiH4、 PH3、AsH3、B2H6、N2O、NH3、SF6、NF3、CF4、BCl3、BF3、HCl、Cl2 等，在 IC 生产环节中，使用 的电子气体有差不多有 100 多种，核心工段常见的在 30 种左右。正是这些气体通过不同的制程使硅片具 有半导体性能，它又决定了集成电路的性能、集成度、成品率。即使是某一种某一个特定杂质超标，都将 导致质量严重缺陷，严重时会因不合格气体的扩散，导致整个生产线被污染，乃至生产全面瘫痪。因此， 电子气体是电子制造过程关键基础材料，是名副其实的电子工业“血液"。

电子气体的原料主要为空气分离气体、石油化工和煤化工生产过程中产生的低纯度原料气、废气和 其它基础化工原料。主要原材料来源广泛，市场供应充足，较容易从相关原材料供应厂家获得。我国大型 炼钢企业以及化肥企业基本配备了空气分离设备，空分气体供应量大且价格稳定。电子特种气体对原料 气体的消耗量占石油化工和煤化工原料气产量的比例很小，稳定的石化和基础化工行业能向电子特种气 体行业提供充足的原材料。“十三五"规划对环境保护以及工业废气排放目标的进一步明确，上业的 供应将更为充足。气体容器因能长期使用，在电子气体成本中占比较低，价格波动对行业影响较小。