机构·方式 | 多孔质静压空气轴承·检出器回转式 |
---|---|
半径方向 回转精度 | 0.05um (JISB 7451) |
测定径 | 内外径都是Φ550mm |
积载质量 | 200kg |
上下移动量 | 750mm (使用b触针臂时) |
工作台移动范围 | X:土60mm Y:士60mm |
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机构·方式 | 多孔质静压空气轴承·检出器回转式 |
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半径方向 回转精度 | 0.05um (JISB 7451) |
测定径 | 内外径都是Φ550mm |
积载质量 | 200kg |
上下移动量 | 750mm (使用b触针臂时) |
工作台移动范围 | X:土60mm Y:士60mm |
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