表面粗度 | |
---|---|
测定范围 | 1200um |
测量距离 | 100mm |
Z方向分解能 | 16 bits/Range |
直线度 | 0.15um/100mm |
触针 | R2 um/60° |
轮廓形状 | |
测定范围 | 60mm |
测量距离 | 100mm |
Z方向分解能 | 0.025um |
直线度 | 1.0um/100mm |
触针 | SB-610 |
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表面粗度 | |
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测定范围 | 1200um |
测量距离 | 100mm |
Z方向分解能 | 16 bits/Range |
直线度 | 0.15um/100mm |
触针 | R2 um/60° |
轮廓形状 | |
测定范围 | 60mm |
测量距离 | 100mm |
Z方向分解能 | 0.025um |
直线度 | 1.0um/100mm |
触针 | SB-610 |
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