Aerotech ABL系列气浮轴承直驱直线运动平台，拥有超的定位功能，精度在0.2~0.5um之间。

设计特点

专为扫描和检查而设计

所有空气轴承表面上的有效空气预载

线性编码器反馈提供亚纳米分辨率

高刚性，可承受重载，并具有几何性能

行程达500毫米

前沿制造业，特别是在半导体和数据存储行业中，要求的定位公差超出了传统滚珠丝杠和机械轴承定位系统的能力。ABL1500空气轴承台具有主动的预紧力，的刚度和几何特性，为满足这些需求而设计。

空气轴承设计，实现高动态性能

ABL1500在垂直和水平表面上均带有空气预载功能。相对的薄膜压力可保持轴承的名义间隙公差。除了大的空气轴承表面可以将负载分配到较大的表面积上之外，这种设计还可以使平台具有刚度，非常适合重载或偏载。

制造技术导致了具有无法超越的几何特征的阶段。空气轴承具有固有的平均效应，可限度地提。薄膜将填充小的表面空隙并允许其他不规则性。此特性可产生螺距，滚动，偏航，直线度和平坦度规格。

直线电机驱动

此阶段的驱动力是Aerotech的BLMC系列无刷线性伺服电机。该设计体现了Aerotech作为电机制造商的悠久历史和经验。BLMC使用无铁力，这意味着零齿槽效应和无吸引力，从而实现了的运动平稳性。BLMC能够产生高的力和速度，代表了功率和性能的结合。

零维护

我们的非接触式空气轴承，非接触式线性电动机驱动器和非接触式反馈设备确保了Aerotech设备所期望的水平

通过每个阶段的认证。

列出了轴上加载的轴方向。

规格适用于在桌面上方25 mm处测量的单轴系统。多轴系统的性能取决于有效载荷和工作点。有关多轴或非标准应用，请咨询工厂。

为了防止空气轴承承受负压，建议在运动控制器/放大器的ESTOP输入上连接一个在线压力开关。

供气必须清洁，干燥至0°F露点并过滤至0.25 µm或更高；建议使用纯度为99.9％的氮气。

对于XY配置，上轴行程为200 mm。如果上轴行程大于200 mm但等于或小于500 mm，则需要ABL1500WB作为下轴。

通过每个阶段的认证。

列出了轴上加载的轴方向。

规格适用于在桌面上方25 mm处测量的单轴系统。多轴系统的性能取决于有效载荷和工作点。有关多轴或非标准应用，请咨询工厂。

为了防止空气轴承承受负压，建议在运动控制器/放大器的ESTOP输入上连接一个在线压力开关。

供气必须清洁，干燥至0°F露点并过滤至0.25 µm或更高；建议使用纯度为99.9％的氮气。

对于XY配置，上轴行程为200 mm。如果上轴行程大于200 mm但等于或小于500 mm，则需要ABL1500WB作为下轴。

ABL系列定位平台优点：
•几何性能的气浮导轨
•1.2 m x 1.2 m 的行程
•光柵尺或激光回馈干涉仪
•亚微米定位精度
•XY 和 XYZ 集成系统
•无槽直接驱动电动机
同时我们还提供其他型号的纳米级直线、旋转高运动平台，比如 pro系列，ANT95系列等等。