设计特点
400 μm闭环行程;450 μm 开环行程
出色的步进和稳定和扫描性能
设计用于更大的高数值孔径物镜
的定位分辨率和线性度
安装灵活性
29 毫米直径通光孔径
Aerotech 的 QFOCUS ® QF-50 压电纳米定位载物台可在不牺牲速度或纳米级性能的情况下实现大行程(400 μm CL,450 μm OL)的显微镜物镜和光学元件定位。
QF-50 旨在适应更新的光学仪器和下一代激光微加工应用。由于采用高刚度机械设计,QF-50 的性能优于具有更大、更高数值孔径 (NA) 物镜的竞争压电扫描仪产品。QF-50 非常适合要求高精度和吞吐量以及长行程的苛刻光学定位应用。
精密设计
QFOCUS QF-50 压电平台由使用有限元分析优化的精密挠性件引导。由此产生的设计提供了出色的刚度和谐振频率,从而实现了高工艺吞吐量和快速闭环响应。
除了针对高动态特性进行设计之外,QF-50 挠性轴承设计还经过精心设计,可实现的几何性能,整个行程范围内的直线度误差可达 40 nm。
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