等离子清洁机就是通过利用这些活性组分的性质来处理样品表面，从而实现清洁、涂覆等目的。

　　等离子体状态中存在下列物质：处于高速运动状态的电子；处于激活状态的中性原子、分子、原子团（自由基）；离子化的原子、分子；未反应的分子、原子等，但物质在总体上仍保持电中性状态。

　　等离子体是物质的一种状态，也叫做物质的第四态，并不属于常见的固液气三态。对气体施加足够的能量使之离化便成为等离子状态。等离子体的“活性"组分包括：离子、电子、原子、活性基团、激发态的核素（亚稳态）、光子等。

　　等离子清洗机的结构主要分为三个大的部分组成，分别是控制单元、真空腔体以及真空泵。

　　一、控制单元

　　国内使用的等离子清洗机，包括国外进口的，控制单元主要分为半自动控制、全自动控制、PC电脑控制、液晶触摸屏控制四种方式。

　　而控制单元又分为两个大的部分：

　　1）电源部分：主要电源频率有三种，分别是40KHz、13.56MHz、2.45GHz，其中13.56MHz是需要电源匹配器的。

　　2）系统控制单元：分三种，按钮控制（半自动、全自动）、电脑控制、PLC控制（液晶触摸屏控制）。

　　二、真空腔体：

　　真空腔体主要是分为两种材质的：

　　1）不锈钢真空腔体。

　　2）石英腔体。

　　三、真空泵：

　　真空泵分为两种：

　　1）干泵。

　　2）油泵。