测量功能Main Function：
尺寸：包含水平距离、垂直距离、线性距离、半径、直径
夹角：包含水平角、垂直角、夹角
位置公差：包含平行度、垂直度
形状公差：包含直线度、凸度、圆弧轮廓度
辅助生成：包含辅助点、辅助线、辅助圆
Dimension：Contains the horizontal distance, vertical distance, linear distance, radius and diameter
Angle: Horizontal Angle, vertical angle, cross angle
Position tolerance: contains the parallelism and perpendicularity
Form tolerance: contains the straightness, crown, circular arc profile
Auxiliary generation: contains the auxiliary point, auxiliary line, auxiliary circle
技术参数Main Parameters：
| 项目 Item | 参数 Parameter | 分辨率 | |
| 轮廓测量范围 Measurement range 测量精度 Measurement Accuracy | X轴axis | 200mm | 0.1μm |
| 直线度Straightness | 1.5μm /200mm | -------- | |
| Z1（传感器量程）Sensor | 40mm | 0.1μm | |
| Z高度Height | 650mm | 立柱 | |
| 最小内孔Min. inner hole | 30mm (换小测针可测更小内径) | ---------- | |
| 线性精度 | ≤±（1+I0.12HI）μm | - ------ | |
| 圆弧 | ≤（1.5+R/8） | 2mm＜R＜10mm 的标准球，取样圆弧夹角为 120° | |
|
角度 | ≤±2′ | 60°、90°的角度块，角 边取样长度为 5mm | |
| 分辨率Resolution | 0.1μm | ---------- | |
| 产地Origin | 美国MicroE （America） | ------- | |
| 传感器 Sensor | 类型 Type | 光栅传感器 Digital grating sensor | ----------- |
| 分辨率Resolution | 0.1μm | ------- | |
| 产地Origin | 美国MicroE （America） | --------- | |
| 爬坡角度Climbing Ability | 上升77°（Upside）， 下降88°（Downside） | ------- | |
| 测量速度Meas. Speed | 0.02mm至4.0mm/s | ---------- | |
| 测量方式Meas. Mode | 传感器移动Sensor moving | -------- | |
| 电源Power | AC 220V±10% 50Hz | ------- | |
| 环境要求Environmental conditions | 相对湿度(RH)：＜85% | 以上参数均在 20℃± 2℃，阶梯温度不超过2℃/h 和地面振动 RMS＜50Hz 2.5μm/s 且RMS＞50Hz 5.0μm/s 的环境下 测得 | |
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