等离子发生器真空石英腔体
等离子清洗机腔体
热蒸发腔体
石英真空腔体
不锈钢石英腔体
真空加热腔体
钨丝 钨舟热源加热腔体
真空实验腔体 多功能扩展真空腔体
参数
腔体结构：不锈钢+石英罩
腔体内径：≥φ145mm
腔体高度：不锈钢腔体座+石英罩 高度180mm
腔体接口：KF25真空法兰1个 KF16真空法兰2个 M6电极杆 2个（可选）进气调节阀1个（进气接口可选）
腔体真空：用双极旋片泵5分钟抽真空小于3Pa 分子泵抽20分钟 泵口小于1E-3Pa（分子泵抽管道竟可能粗 短）
腔体真空电极：电流100A 电压1000V
说明：腔体为公司生产时多做的配件 腔体不支持修改 只出售库存标准的产品 客户购买时需一定的动手能力及搭建设备经验 如搭建等离子辉光
或者热蒸镀 等
产品售出 无质量问题不退 不换 且不提供设备搭建的技术支持及资料 （产品为平价出售 技术服务不到位请多包涵 感谢支持）
| 仟渔 | / |
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