产品型号

  1200℃双管滑动式四通道混气CVD系统OTF-1200X-4-C4LV

主要特点

  1、采用高纯氧化铝保温材料，保证了的温度均匀性。

  2、内炉膛表面涂有美国进口氧化铝涂层，可以提高反射率和保护炉膛洁净度。

  3、采用PID控制器 ，可以设置30段升降温程序。

  4、金属箔缠绕在内管的外表面上发生CVD反应。

  5、采用双管真空密封法兰，允许反应气体通过两管之间（10mm间隙）。

  6、冷却气体直接通入内管。

  7、配有带KF25快接和波纹管的高速机械泵。

  8、炉底部装有滑轨，炉体可从一端滑向另一端，从而实现快速升温和降温。为了获得较快的加热速度，可以　

        先将炉体预热，然后滑至放置样品处；为了获得较快的冷却速度，可将炉体滑至另一端，同时将冷气通入　

        样品所在处。

  9、密封法兰系统采用不锈钢制作。

  10、已通过CE认证。

技术参数

  管式炉

  1、电源：单相AC 208-240V   50/60Hz  2.5KW （20A保险丝）

  2、石英管：外管外径Φ100mm，内径Φ96mm，长1400mm

                        内管外径Φ80mm，内径Φ75mm，长1400mm

  3、加热元件：掺钼铁铬铝合金电阻丝（表面涂有氧化锆）

  4、加热区域：440mm

   5、恒温区域：120mm（±1℃在400-1100℃）

  6、工作温度：zui高1100℃，连续工作1000℃

  7、zui大升降温速率：20℃/min

  8、控温精度：±1℃

  9、真空度：10^-2torr（机械泵），10^-5torr（分子泵）

  质量流量混气系统

  1、质子流量计：4路精密质子流量计，数字显示，气体流量自动控制

                                MFC1范围0-100sccm，MFC2范围0-200sccm，MFC3范围0-200sccm，MFC1范围0-500sccm

  2、流量精度：0.2%

  3、气路：4路（每个气路都有一个独立的不锈钢针阀控制）

  4、进出气口：1/4″卡套

  5、混气罐：1个

产品规格

  尺寸：管式炉550mm×380mm×520mm，移动架600mm×600mm×597mm

  重量：135kg

可选配件

  1、分子泵

  2、双温区管式炉

  3、铜箔（生长石墨烯150mm×150mm×25µm）