通过消除扫描器串扰进行准确的XY扫描
用于样品和探针的独立闭环XY和Z柔性
扫描器整个扫描范围内的线性度误差小于1nm 精确的高度测量保留真实的样品表面形貌信息,无需软件处理.
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Park NX10 通过消除扫描器串扰进行准确的XY扫描用于样品和探针的独立闭环XY和Z柔性扫描器整个扫描范围内的线性度误差小于1nm精确的高度测量保留真实的样品表面形貌信息,无需软件处理
通过消除扫描器串扰进行准确的XY扫描
用于样品和探针的独立闭环XY和Z柔性
扫描器整个扫描范围内的线性度误差小于1nm 精确的高度测量保留真实的样品表面形貌信息,无需软件处理.
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