VIONiC™光栅系列
VIONiC光栅系列是雷尼绍性能的增量式光栅，它可提供直接的数字位置反馈，具有优异的测量性能，运行速度快且可靠性。VIONiC读数头集成雷尼绍经过市场检验的可靠光学滤波系统和*的细分技术。它具有超低的电子细分误差 (SDE)、优异的抗污能力，而且无需额外使用适配器或单独的接口。
此外，VIONiC读数头可兼容各种直线栅尺、圆弧栅尺和圆光栅，从低膨胀ZeroMet栅尺到高精度REXM圆光栅，无一例外。VIONiC系列光栅因此成为具有多功能性和优异测量性能的理想光栅。

新品！
VIONiC光栅的分辨率现可达到2.5 nm，并且全系列产品的电子细分误差 (SDE) 均有降低。

主要特性
紧凑型一体化数字输出光栅
• 动态信号处理确保 细分误差
• 兼容各种直线栅尺和圆光栅，并具有IN-TRAC
自动调相光学参考零位（基准）
• 自动增益控制 (AGC)、自动平衡控制 (ABC) 和
自动偏置控制 (AOC) 确保了一致的信号强度和
长期可靠性
• 内置LED安装指示灯令安装更加轻松
• 速度可达12 m/s
（分辨率为0.1 µm时，速度可达3.63 m/s）
• 直接从读数头输出数字信号：分辨率从5 μm
至2.5 nm
• 内置双限位（直线光栅）
• 进一步优化的光学滤波系统，具有的抗
污能力
• 选配的Advanced Diagnostic Tool（高级诊
断工具）ADTi-100可优化安装并协助系统诊断

输出信号格式

速度
时钟输出选项 (MHz) 速度 (m/s) 最小边缘间隔* (ns)
D (5 μm) X (1 μm) Z (0.5 μm) W (0.2 μm) Y (0.1 μm) H (50 nm) M (40 nm) P (25 nm) I (20 nm) O (10 nm) Q (5 nm) R (2.5 nm)
50 12 12 12 7.25 3.63 1.81 1.45 0.906 0.725 0.363 0.181 0.091 25.3
40 12 12 12 5.80 2.90 1.45 1.16 0.725 0.580 0.290 0.145 0.073 31.8
25 12 12 9.06 3.63 1.81 0.906 0.725 0.453 0.363 0.181 0.091 0.045 51.2
20 12 12 8.06 3.22 1.61 0.806 0.645 0.403 0.322 0.161 0.081 0.040 57.7
12 12 10.36 5.18 2.07 1.04 0.518 0.414 0.259 0.207 0.104 0.05

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